Couches Minces Piézoélectriques sans Plomb de Bi0,5Na0,5TiO3 élaborées par Pulvérisation Cathodique sur des Substrats de LaNiO3/Si et Microstructuration par Gravure Humide : Etude des Propriétés aux Echelles Macroscopique et Nanométrique
M.M. Saj Mohan
,
Ahmed Hamieh
(1)
,
Antonio da Costa
(2)
,
Anthony Ferri
(3, 2)
,
Sophie Barrau
(4)
,
Denis Remiens
(5, 6)
,
Rachel Desfeux
(3, 2)
1
LAMIH -
Laboratoire d'Automatique, de Mécanique et d'Informatique industrielles et Humaines - UMR 8201
2 UCCS - Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181
3 UCCS Équipe Couches Minces & Nanomatériaux
4 UMET - Unité Matériaux et Transformations - UMR 8207
5 MAMINA - IEMN - Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN
6 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
2 UCCS - Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181
3 UCCS Équipe Couches Minces & Nanomatériaux
4 UMET - Unité Matériaux et Transformations - UMR 8207
5 MAMINA - IEMN - Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN
6 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
M.M. Saj Mohan
- Fonction : Auteur
Antonio da Costa
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1618478
- IdHAL : antonio-dacosta
- ORCID : 0000-0002-7420-137X
Anthony Ferri
- Fonction : Auteur
- PersonId : 16654
- IdHAL : anthony-ferri
- ORCID : 0000-0002-9162-2715
- IdRef : 136536182
Sophie Barrau
- Fonction : Auteur
- PersonId : 761161
- IdHAL : sophie-barrau
- ORCID : 0000-0003-4790-9994
- IdRef : 087984814
Denis Remiens
- Fonction : Auteur
- PersonId : 751690
- IdHAL : denis-remiens
- ORCID : 0000-0002-6761-1442
- IdRef : 031536468
Rachel Desfeux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17005
- IdHAL : rachel-desfeux
- ORCID : 0000-0002-0629-3671
- IdRef : 136536441
